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隨著新能源、半導(dǎo)體、石油化工、先進(jìn)材料及科學(xué)儀器等領(lǐng)域不斷向高端化發(fā)展,高壓氣體在供氣、輸送、反應(yīng)、儲運(yùn)及測試等環(huán)節(jié)的應(yīng)用日益廣泛。在高壓(數(shù)MPa至數(shù)十MPa)工況下,氣體密度、流動狀態(tài)等物性參數(shù)會發(fā)生明顯變化,對流量測量與控制設(shè)備的耐壓能力、測量精度及長期穩(wěn)定性提出了更高要求。傳統(tǒng)氣體質(zhì)量流量控制器受工作壓力及結(jié)構(gòu)設(shè)計限制,往往難以滿足高壓、大壓差工況下的精準(zhǔn)測控需求。
高壓工況下,市面通用型質(zhì)量流量控制器(MFC)面臨哪些挑戰(zhàn)?
1、工作壓力通常僅1~3MPa范圍以內(nèi),無法覆蓋高壓需求;
2、當(dāng)壓力升高時,高壓差可能造成傳感器測量漂移、閥門失控,無法有效控制流量,嚴(yán)重時甚至對內(nèi)部結(jié)構(gòu)造成損傷;
3、高壓氣體具有更高的密度和更復(fù)雜的流動特性,常規(guī)MFC在量程適配、測控精度等方面也容易受到影響。
4、高壓應(yīng)用對設(shè)備密封性能和機(jī)械強(qiáng)度提出了更嚴(yán)苛的要求。一旦密封或耐壓結(jié)構(gòu)設(shè)計不足,不僅會影響設(shè)備長期運(yùn)行可靠性,還可能帶來氣體泄漏等安全風(fēng)險;
因此,高壓氣體測控的核心已不僅是“測得準(zhǔn)”,更需要兼顧高耐壓、高穩(wěn)定、高可靠與安全性。ACCU自主研發(fā)的ACU20FD-LC高壓氣體質(zhì)量流量控制器,采用熱式原理測量氣體的質(zhì)量流量,不受溫度、壓力的影響,同時配合耐高壓控制閥,實現(xiàn)對氣體質(zhì)量流量的精準(zhǔn)檢測與閉環(huán)控制,尤其適用于高壓差、大壓力范圍及連續(xù)運(yùn)行等嚴(yán)苛工況。
▲ACU20FD-LC 高壓氣體質(zhì)量流量控制器(40MPa)
在通信兼容性方面,ACU20FD-LC支持RS232/485Modbus通訊,并可定制DeviceNet、PROFINET、EtherCAT、PROFIBUS-DP 等多種工業(yè)通信協(xié)議,可靈活接入各類自動化控制系統(tǒng)。
憑借高耐壓、高精度及穩(wěn)定控制能力,ACU20FD-LC可廣泛應(yīng)用于各類高壓氣體測控場景,例如:
? 氫能與儲氫領(lǐng)域:高壓氫氣供給/輸送、氫能裝備測試、固態(tài)儲氫材料研發(fā)及氫能裝備高壓氣體充裝與測試、氫氣循環(huán)及高壓氫氣輸送流量控制;
? 超臨界技術(shù)領(lǐng)域:CO?超臨界萃取/清洗、高壓CO?注入、超臨界流體反應(yīng)及高壓氣體精密供給;
? 石油天然氣領(lǐng)域:頁巖氣/煤層氣模擬、巖心驅(qū)替、油藏模擬、甲烷、CO2、N2等氣體高壓注入及油氣裝備測試;
? 化工石化領(lǐng)域:高壓催化反應(yīng)、精細(xì)化工實驗中的高壓工藝氣體供給與流量控制;
? 新能源材料領(lǐng)域:電子材料研發(fā)、新能源材料制備、特種材料熱處理、高壓氣氛熱處理及材料性能測試;
? 科研與實驗裝備領(lǐng)域:高溫高壓反應(yīng)釜、催化反應(yīng)、超臨界實驗、高壓氣體實驗平臺的精準(zhǔn)供氣;
? 航空航天領(lǐng)域:空間環(huán)境模擬、航天推進(jìn)實驗、高壓氣體充注及及航空航天裝備測試;
? 工業(yè)智能裝備領(lǐng)域:高壓氣體供氣、自動化設(shè)備氣路控制、智能裝備氣體供應(yīng)、工業(yè)過程氣體流量控制;
? 儀器儀表領(lǐng)域:高壓標(biāo)準(zhǔn)氣體供給、儀器校準(zhǔn)、流量儀表測試、泄漏測試及高壓氣體計量;
以及半導(dǎo)體周邊的科研研發(fā)、先進(jìn)封裝、設(shè)備耐壓測試等應(yīng)用。

▲ACU20FD-LC 本安防爆型高壓氣體質(zhì)量流量控制器(40MPa)
嚴(yán)苛工況下,我們還可提供防爆定制方案:
針對高壓、易燃易爆等特殊工況,ACCU還可提供本安防爆型高壓氣體質(zhì)量流量控制器定制方案。該產(chǎn)品防爆等級可達(dá)到ExiaⅡCT6 Ga,防護(hù)等級達(dá)到IP65,同時具備40MPa耐壓能力,在實現(xiàn)精準(zhǔn)流量測量與控制的基礎(chǔ)上,進(jìn)一步提升設(shè)備在高壓危險環(huán)境中的運(yùn)行安全性。
從高壓供氣到特殊防爆環(huán)境,ACU20FD-LC以高耐壓、精準(zhǔn)測控、穩(wěn)定運(yùn)行等特點,為高壓氣體應(yīng)用提供可靠的流量控制解決方案,已廣泛應(yīng)用于多行業(yè)并廣受認(rèn)可。
如需工況選型、溝通詳細(xì)參數(shù)或適配方案,歡迎咨詢,定制適配的、高效的流量測控方案。